一、產(chǎn)品特點

亞納米級分辨率

低像差錐形物鏡

大束流

自動化控制系統(tǒng)

超大樣品倉

鏡筒加速技術(shù)  顯著降低色差 低壓下高質(zhì)量成像

二、技術(shù)參數(shù)

三、產(chǎn)品功能

· 樣品區(qū)全域視場矩陣自動規(guī)劃，拍照流程無需人工干預(yù)

· 百千張級數(shù)據(jù)量快速拼接實時預(yù)覽，構(gòu)建全域清晰掃描大圖

06 關(guān)鍵尺寸測量

具備距離，角度，水平線/垂直線/圓徑測算等，豐富的圖像測量功能

四、定制能力

1、電子束曝光（EBL）

2、真空互聯(lián)

·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對樣品進行預(yù)處理，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進行觀測。

·自動檢測和反饋系統(tǒng)，對樣品標簽、位置狀態(tài)、樣品交接進行監(jiān)控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達到激發(fā)態(tài)。使用時間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電

鏡燈絲，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進而收集表面逸出的二次電子對激發(fā)瞬態(tài)進行表征。

五、應(yīng)用案例