KYKY-EM8200超高分辨場發射掃描電子顯微鏡，采用全新電子光學設計，基于減速樣品臺、新一代
低像差物鏡、Inlens探測器等技術，集成豐富的圖像處理功能，為新能源、半導體等用戶提供全新解
決方案。

一、KYKY-EM8200場發射掃描電鏡 產品介紹

KYKY-EM8200超高分辨場發射掃描電子顯微鏡，采用全新電子光學設計，基于減速樣品臺、新一代

低像差物鏡、Inlens探測器等技術，集成豐富的圖像處理功能，為新能源、半導體等用戶提供全新解

決方案。

二、KYKY-EM8200場發射掃描電鏡 產品特點

1、高分辨電子光學系統

新一代低像差物鏡

減速樣品臺

低壓高分辨成像

2、高校便捷的用戶體驗

全新的用戶界面設計

豐富的軟件測量功能

光學導航

著陸束流檢測

3、高性能信號探測系統

低噪聲Inlens探測器

自動推入式背散射探測器

豐富的探測器拓展接口

三、KYKY-EM8200場發掃描電鏡 技術參數

四、KYKY-EM8200場發射掃描電鏡 產品功能

· 可任意設置不同探測器的信號混合比例

· 樣品區全域視場矩陣自動規劃，拍照流程無需人工干預

· 百千張級數據量快速拼接實時預覽，構建全域清晰掃描大圖

五、定制能力

1、電子束曝光（EBL）

2、真空互聯

·真空互聯系統可以在真空狀態下對樣品進行預處理，并傳遞到掃描電鏡內進行觀測。

·自動檢測和反饋系統，對樣品標簽、位置狀態、樣品交接進行監控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

3、激光聯用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達到激發態。使用時間延遲可調的另一束激光作用于電鏡燈絲，產生脈沖電子束照射于樣品表面進而收集表面逸出的二次電子對激發瞬態進行表征。

六、應用示例